共同利用の供用装置Equipment

共同研究に供する装置一覧

2026 version

装置一覧（PDF版）
共同研究に供する装置の紹介・型番（PDF版）

2025 version

装置一覧（PDF版）
共同研究に供する装置の紹介・型番（PDF版）

共同研究に供する装置の説明（2026年度版）

作製支援グループ
評価支援グループ

作製支援グループ

1-1 極微細加工用電子描画･エッチング装置
1-2 多元系反応スパッタ装置
1-3 高速反射電子回折装置
1-4 複合イオンビーム成膜装置
1-5 多段制御化学気相析出装置
1-6 熱間加工再現試験機
1-7 放電プラズマ焼結装置 SPS-1050
1-8 放電プラズマ焼結装置 SPS-3.20 Mark Ⅳ
1-9 電子ビーム溶解装置
1-10 高圧ガス噴霧装置
1-11 高周波溶解式傾角鋳造装置
1-12 単ロール液体急冷装置
1-13 光学式浮遊帯域溶融炉
1-14 電子ビーム式浮遊帯域溶融装置
1-15 真空高温炉
1-16 高周波溶解炉
1-17 超高温浮遊溶融型複合セラミックス作製装置
1-18 小型真空アーク溶解装置
1-19 大型真空アーク溶解装置
1-20 横型帯域溶融アーク炉
1-21 高温反応焼結炉

評価支援グループ

2-1 磁気特性評価システム
2-2 微小部X線回折装置
2-3 試料水平式エックス線回折装置
2-4 Ｘ線光電子分光分析装置 (XPS)
2-5 電界放出形走査電子顕微鏡 (FE-SEM)
2-6 フィールドエミッション電子プローブマイクロアナライザー (FE-EPMA)
2-7 走査電子顕微鏡 (W-SEM)
2-8 超伝導量子干渉計 (SQUID)
2-9 示差走査熱量測定装置 (DSC)
2-10 汎用型熱分析測定システム (DTA,DSC,TMA)
2-11 高輝度X線粉末構造解析装置
2-12 温度可変磁化測定装置 (VSM)
2-13 背面反射ディジタルCCDラウエカメラ
2-14 熱電特性評価装置
2-15 レーザーフラッシュ法熱定数測定装置
2-16 静的粒子画像分析装置
2-17 平面・断面イオンミリング装置
2-18微小ビッカース硬度計